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ペロブスカイトアプリケーションにおける 172 nm EUV ランプの役割 1. 172 nm EUV ランプの核となる特性とペロブスカイト材料の基本 1.1 172 nm EUV ランプの主要な物理的特性 172 nm エキシマ ランプ (Xe₂* ダイマー発光) は、真空紫外 (VUV、...